严伟，男，副研究员。在“中科院光电所微电子学装备研究室”工作，从事光刻设备及相关关键单元技术研究。

社会任职

学习经历：1996年—2000年，四川大学，学士机械制造及其自动化2001年—2004年，中科院光电技术研究所，硕士，光学工程2004年—2007年，中科院光电技术研究所，博士，信号与信息处理 工作经历：自2000年7月起，一直在“中科院光电所微电子装备研究室”工作，从事光刻设备及相关关键单元技术研究。

获奖及荣誉

在微电子学光刻装备领域开展多年研究，对微电子装备相关理论有较为深刻的理解，发表科技论文29篇（SCI6篇）、申请专利29项（授权15项）；曾获四川省科技进步二等奖和三等奖各一项；2011年入选首届“中国科学院青年创新促进会”；2010年入选西部之光人才计划—“联合学者”；2009年获光电所创新人才奖，2007年获中国半导体行业协会半导体创新产品和技术奖；组织编写了生物芯片检测仪器医疗器械标准，获得生物芯片检测系统分析软件版权2项。

承担科研项目情况

目前在国家科技重大专项工程项目中的重点工程中担任主任设计师、仪器专项工程项目主任设计师，正在开展整机测控系统的研制工作。

参加完成中科院知识创新工程交叉学科重大方向性项目—生物芯片仪器研制工作；主持开展自然科学基金项目“适用于双工件台光刻机的高精度离焦量解耦算法研究”，参与完成了863“实现纳米分辨力的新型紫外光刻机研制”任务、863“基于DMD的步进投影数字光刻系统”研制任务、自然科学基金“纳米光栅掩模提高分辨力的原理和方法研究”；主持了西部之光“精密步进式无掩模数字曝光装置”、“便携式生物芯片检测系统”、“紫外固化原位光刻机”、“紫外深度曝光系统”、“URE-2000S/A双面光刻机”等项目的研制工作。

培养研究生信息：在读硕士研究生3名

参考资料