吉元，研究员，硕士生导师，1975年毕业于北京工业大学机械系。自1976年起，他在北京工业大学显微分析中心和固体微结构与性能研究所工作。

基本介绍

1985年~1987年在德国明斯特大学物理所从事扫描电镜（SEM）和电子探针（EPMA）的研究，2001年在德国乌珀塔尔大学电子所从事微电子学/光电子器件的扫描探针（SPM）热成像和声成像的研究。

主要研究方向：

扫描电子显微分析方法的研究及新技术开发。包括原位动态观察，绝缘材料的荷电效应、荷电补偿及荷电应用，高分辨成像，电子背散射衍射（EBSD）等。主要涉及半导体结构与电子器件的电、热应力失效分析及可靠性研究，复合材料、化学与生物工程材料的微结构与局域性能的研究。

在研课题：

总装备部国防科技重点实验室VLSI互连线应力迁徙研究项目，国防科工委军用半导体器件电徙动加速寿命实验新方法及应用项目。

科研成果：

曾主持和参加国家和北京市自然科学基金项目，电子工业部军事预言项目及科技攻关项目等。发表论文60余篇。获国家发明专利4项。获电子部及北京市科技进步二等奖、国家和北京市自然科学基金项目优秀项目奖6项。

参考资料