片状氧化铝 :化合物

更新时间:2024-09-20 22:31

片状氧化铝所属现代词,指的是一种基本上无团粒、粉末或碎片的新型片状氧化铝。

片状氧化铝

明人

塞尔斯R·锡伯特;爱特华L·格拉文;Jr.

地址

美国马省

概述

本发明提供一种基本上无团粒、粉末或碎片的新型片状氧化铝。本产品证实对用在微电子学应用方面的基片的抛光非常有利,同时也揭示了制备这类产品的方法。

要害点

一种片状氧化铝粉,其特征在于主要由具有直径为3至20微米的个别正面体片状氧化铝颗粒组成,它基本上没有团粒和细粒且所含片状氧化铝颗粒的片断小于5%。

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