氮化铝 :耐热冲击的材料

更新时间:2023-09-25 12:33

氮化铝(AlN)是Ⅲ-V族氮化物中禁带宽度最大的半导体材料,其直接禁带宽度为6.2eV拥有宽禁带、高熔点、高临界击穿场强、高热稳定性和耐化学腐蚀等优异性质。常用的 AIN 制备方法有物理气相传输(physical vapor transport,PVT)法、液相法、金属有机化学气相沉积法、MBE法等。

AIN是一种综合性能优异的先进陶瓷材料,对AIN的研究工作开始于100多年前。1862年,Briegleb和Geuther首次发现了AIN,他们将Al屑放入瓷船中,在氮气环境下加热2小时。冷却后,发现产物的重量明显增加,且表面呈白色,内部呈黄褐色。此外,他们还发现了材料内部存在氮。但当时仅将其用作固氮剂化肥。

性质

AlN是原子晶体,属类金刚石氮化物,最高可稳定到2200℃。室温强度高,且强度随温度的升高下降较慢。导热性好,热膨胀系数小,是良好的耐热冲击材料。抗熔融金属侵蚀的能力强,是熔铸纯铁、铝或铝合金理想的坩埚材料。氮化铝还是电绝缘体,介电性能良好,用作电器元件也很有希望。砷化镓表面的氮化铝涂层,能保护它在退火时免受离子的注入。氮化铝还是由六方氮化硼转变为立方氮化硼的催化剂。室温下与水缓慢反应。可由铝粉在氨或氮气氛中800~1000℃合成,产物为白色到灰蓝色粉末。或由Al2O3-C-N2体系在1600~1750℃反应合成,产物为灰白色粉末。或氯化铝与氨经气相反应制得。涂层可由AlCl3-NH3体系通过气相沉积法合成。

AlN+3H2O==催化剂===Al(OH)3↓+NH3↑

历史

氮化铝于1877年首次合成。至1980年代,因氮化铝是一种陶瓷绝缘体(聚晶体物料为 70-210 W‧m−1‧K−1,而单晶体更可高达 275 W‧m−1‧K−1 ),使氮化铝有较高的传热能力,至使氮化铝被大量应用于微电子学。与氧化铍不同的是氮化铝无毒。氮化铝用金属处理,能取代铝矾土及氧化铍用于大量电子仪器。氮化铝可通过氧化铝和碳的还原作用或直接氮化金属铝来制备。氮化铝是一种以共价键相连的物质,它有六角晶体结构,与硫化锌纤锌矿同形。此结构的空间组为P63mc。要以热压及焊接式才可制造出工业级的物料。物质在惰性的高温环境中非常稳定。

在空气中,温度高于700℃时,物质表面会发生氧化作用。在室温下,物质表面仍能探测到5-10纳米厚的氧化物薄膜。直至1370℃,氧化物薄膜仍可保护物质。但当温度高于1370℃时,便会发生大量氧化作用。直至980℃,氮化铝在氢气二氧化碳中仍相当稳定。矿物酸通过侵袭粒状物质的界限使它慢慢溶解,而强碱则通过侵袭粒状氮化铝使它溶解。物质在水中会慢慢水解。氮化铝可以抵抗大部分融解的盐的侵袭,包括氯化物冰晶石〔即六六氟合铝酸钠〕。

特性

(1)热导率高(约270W/m·K),接近BeO和碳化硅,是Al2O3的5倍以上;

(2)热膨胀系数(4.5×10-6℃)与Si(3.5~4×10-6℃)和GaAs(6×10-6℃)匹配;

(3)各种电性能(介电常数、介质损耗、体电阻率、介电强度)优良;

(4)机械性能好,抗折强度高于Al2O3和BeO陶瓷,可以常压烧结

(5)纯度高;

(6)光传输特性好;

(7)无毒;

(8)可采用流延工艺制作。是一种很有前途的高功率集成电路基片和包装材料。

主要应用

有报告指现今大部分研究都在开发一种以半导体(氮化镓合金铝氮化镓)为基础且运行於紫外线发光二极管,而光的波长为250纳米。在2006年5月有报告指一个无效率的二极管可发出波长为210纳米的光波。以真空紫外线反射率量出单一的氮化铝晶体上有6.2eV的能隙。理论上,能隙允许一些波长为大约200纳米的波通过。但在商业上实行时,需克服不少困难。氮化铝应用於光电工程,包括在光学储存介面及电子基质作诱电层,在高的导热性下作晶片载体,以及作军事用途。

由于氮化铝压电效应的特性,氮化铝晶体的外延性伸展也用於表面声学波的探测器。而探测器则会放置於矽晶圆上。只有非常少的地方能可靠地制造这些细的薄膜。

利用氮化铝陶瓷具有较高的室温和高温强度,膨胀系数小,导热性好的特性,可以用作高温结构件换热器材料等。

利用氮化铝陶瓷能耐铁、铝等金属和合金的溶蚀性能,可用作Al、Cu、Ag、Pb等金属熔炼的埚和浇铸模具材料。

计算化学数据

1.疏水参数计算参考值(XlogP):无

2.氢键供体数量:0

3.氢键受体数量:1

4.可旋转化学键数量:0

5.互变异构体数量:无

6.拓扑分子极性表面积23.8

7.重原子数量:2

8.表面电荷:0

9.复杂度:10

10.同位素原子数量:0

11.确定原子立构中心数量:0

12.不确定原子立构中心数量:0

13.确定化学键立构中心数量:0

14.不确定化学键立构中心数量:0

15.共价键单元数量:1

编号系统

CAS号:24304-00-5

MDL号:MFCD00003429

EINECS号:246-140-8

RTECS号:暂无

BRN号:暂无

PubChem号:24854500

简介

氮化铝,共价键化合物,是原子晶体,属类金刚石氮化物六方晶系纤锌矿型的晶体结构,无毒,呈白色或灰白色。

毒理学数据

在皮肤上:造成腐蚀性影响。刺激皮肤和粘膜。

在眼睛上:强烈的腐蚀性影响。刺激的作用。

生态学数据

对水是稍微危害的,若无政府许可,勿将材料排入周围环境。

贮存方法

干性的保护气体下处置,保持贮藏器密封。

放入紧密的贮藏器内,储存在阴凉,干燥的地方。

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