高飞，男，大连理工大学物理与光电工程学院等离子体物理副教授，同时担任物理学院副院长、三束材料改性教育部重点实验室副主任。他是大连理工大学星海人才培育计划“星海优青”入选者，也是射频等离子体模拟和实验团队的核心成员。高飞教授的研究领域主要集中在射频等离子体物理过程及与材料相互作用，特别是在IC装备制造产业和磁约束核聚变中性束注入系统中的应用。他曾获得大连市科学技术奖一等奖，并在科研项目上取得了显著成果，主持和参与的项目总经费超过两千万元。

个人经历

2014.12~至今 大连理工大学 物理与光电工程学院 等离子体物理 副教授

2014.01~2014.11 大连理工大学 物理与光电工程学院 等离子体物理 讲师

2012.02~2013.12 大连理工大学 物理与光电工程学院 光学工程 师资博士后

2007.09~2011.12 大连理工大学 物理与光电工程学院 等离子体物理 攻读博士

2003.09~2007.07 大连理工大学 物理与光电工程学院 光信息科学与技术 攻读学士

研究方向

射频感性耦合等离子体物理

大功率负氢离子源物理

离子束与等离子体相互作用

高功率微波等离子体物理

学术成果

论文成果

高飞,王友年.Experimental investigation of the electron impact excitation behavior in pulse-modulated radio 频率 Ar/O2 inductively coupled plasma[J],J. APPL Phys.,2019,125:23303-23303

左春彦,高飞,戴忠玲,王友年高功率微波输出窗内侧击穿动力学的PIC/MCC模拟研究[J],物理学报,2018,22:340-350

Li, Jian-quan,Lu, Wen-qi,Xu, Jun,Gao, Fei,Wang, You-nian.A comparative study of emissive probe techniques for vacuum space potential measurements[J],VACUUM,2018,155:566-571

Yang, Wei,Li, Hong,Gao, Fei,Wang, You-Nian.A global model study of the population 动力学 of molecular 氢 and the generation of negative hydrogen ions in low-压强 ICP discharge with an expansion region: effects of EEPF[J],PLASMA SOURCES SCIENCE \u0026 TECHNOLOGY,2018,27(7)

Han, Dao-Man,Liu, Yong-Xin,Gao, Fei,Wang, Xiang-Yu,Li, Ang,Xu, Jun,Jing, Zhen-Guo,Wang, You-Nian.Observation of the standing wave effect in large-area, very-high-频率 capacitively coupled plasmas by using a fiber Bragg grating sensor[J],JOURNAL OF APPLIED PHYSICS,2018,123(22)

Han, Dao-Man,Liu, Yong-Xin,Gao, Fei,Liu, Wen-Yao,Xu, Jun,Wang, You-Nian.Measurements of argon metastable density using the tunable diode laser absorption spectroscopy in Ar and Ar/O-2[J],CHINESE PHYSICS B,2018,27(6)

发明专利

一种细长管射频感应耦合等离子体源反应器

Positive and negative ion source based on radio-frequency inductively coupled discharge

一种基于射频放电的正负离子源

一种适用于低气压甚高频放电中交变磁场强度测量的探针

提高等离子体径向均匀性的等离子体腔室

一种减少基片材料受高能离子轰击损伤的方法

科研项目

CFETRN-NBI负离子源仿真优化设计及实验评估, 国家科技部 , 2017/07/01, 进行中

高功率微波输出窗真空及不同气压下等离子体放电模拟研究, 其他课题, 2015/10/30-2016/10/30, 已完成

面向刻蚀工艺的脉冲调制射频感应耦合等离子体源的特性研究, 国家自然科学基金项目, 2016/08/17, 进行中

宽能域离子束在等离子体中的能量沉积及其激发的自调制不稳定性和尾波场, 国家自然科学基金项目, 2015/09/01, 进行中

射频感应耦合等离子体对材料表面上原子再复合行为的影响, 国家自然科学基金项目, 2012/09/25, 已完成

高功率微波窗击穿诊断研究, 其他课题, 2018/01/29, 进行中

参考资料

大连理工大学主页平台管理系统高飞.大连理工大学.2024-03-24

大连理工大学主页平台.大连理工大学.2024-03-24