更新时间：2023-08-15 17:35
中微半导体设备（上海）股份有限公司（英文：Advanced Micro-Fabrication Equipment Inc. China），简称：中微公司，成立于2004年，上海科技创业投资集团成员，位于上海市浦东新区金桥出口加工区（南区）泰华路188号，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。截至2023年10月，公司董事长为尹志尧。
中微半导体设备(上海)股份有限公司是一家以中国为基地面向全球的微观加工高端设备公司，致力于为全球集成电路和LED芯片制造商提供领先的加工设备和工艺技术解决方案。中微公司基于在半导体装备产业多年耕耘积累的专业技术，跨足半导体芯片前端制造、先进封装、发光二极管生产、MEMS制造以及其他微观制程的高端设备领域，瞄准世界科技前沿，坚持自主创新,服务遍布中国大陆和台湾、新加坡、韩国、德国、意大利等国家和地区的客户。
2021年5月，中微公司成功研制出3nm蚀刻机。同年8月，中微公司开发出小于5纳米刻蚀设备用于若干关键步骤的加工。10月25日，中微公司宣布其全球第500台MOCVD设备顺利付运。中微公司入选2021年（第28批）新认定国家企业技术中心《2022中国品牌500强》榜单，位列347位。
2004年9月10日，公司住所从上海市张江高科技园区郭守敬路351号1号楼625室变更为上海市张江高科技园区牛顿路200号1号楼6楼A、B室。11月2日，企业类型从非公司外商投资企业(外商合资)变更为有限责任公司(中外合作)、法定代表人从AIHUA CHEN变更为尹志尧、注册资本(金)从2000.0000万美元变更为2605.0000万美元。2015年12月25日开始，企业类型先后变更为从有限责任公司(中外合作)、有限责任公司(外国法人独资)、有限责任公司(中外合资)、Inc.(中外合资、未上市)、股份有限公司(中外合资、上市)。
2018年年初，中微半导体公司获悉，美方涉嫌侵犯中微公司专利权的设备即将从上海浦东国际机场进口，随即向上海海关提出扣留侵权嫌疑货物的申请。上海海关及时启动知识产权海关保护程序，在进口环节开展行政执法，根据权利人申请，暂停涉嫌侵权设备的通关，这批设备货值达3400万元。
随着海关介入执法，美方开始正视中微公司的自主研发专利及其在中国的知识产权状况，主动与中微公司展开谈判，双方最终达成全球范围相互授权的和解协议。
2021年5月8日消息，中微公司成功研制出3nm蚀刻机，且完成了原型机的设计、制造、测试及初步的工艺开发和评估，并已进入量产阶段。7月2日晚，中微公司披露发行情况报告书，最终以每股102.29元的价格发行8022.93万股，合计募得资金82.07亿元。8月，中微半导体设备（上海）有限公司已开发出小于5纳米刻蚀设备用于若干关键步骤的加工。10月25日，中微半导体设备（上海）股份有限公司宣布其MOCVD设备系列喜迎又一里程碑：全球第500台MOCVD设备顺利付运国内领先的LED外延片和芯片研发生产制造商。
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中微半导体设备（上海）股份有限公司北京分公司为中微半导体设备（上海）股份有限公司的下属分公司，于2020年8月正式挂牌成立，其前身是2014年成立的中微北京Site。北京分公司现有团队成员15人，主要为半导体芯片前端制造、先进封装、LED生产、MEMS制造以及其他微观制程领域提供先进的等离子体刻蚀设备及其成套工艺。其经营范围包括销售半导体设备和零件以及为所销售产品提供维修、售后服务、技术支持等。
中微半导体（上海）有限公司杭州分公司为中微半导体（上海）有限公司的下属分公司，于2022年5月正式成立，其经营范围包括销售半导体设备和零件，软件开发，数据处理，智能家庭设备消费设备销售，第一类医疗器械销售，第二类医疗器械销售，信息咨询服务等。
研发、组装集成电路设备、泛半导体设备和其他微观加工设备及环保设备，包括配套设备和零配件，销售自产产品。提供技术咨询、技术服务。
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中微公司专注于研发干法刻蚀（等离子体刻蚀）设备，用于在晶圆上加工微观结构。干法刻蚀通过等离子释放带正电的离子来撞击晶圆以去除（刻蚀）材料。根据所要去除材料和加工器件结构的不同，可分为电介质刻蚀、导体刻蚀和硅通孔刻蚀。中微公司开发了CCP 单台机和双台机，ICP 单台机和双台机 可覆盖90%刻蚀应用。
中微公司在MOCVD领域有非常深厚的技术积累。公司于2013年发布了第一代MOCVD设备 Prismo D-BLUE®，由于其较高的灵活性和生产效率、优异的性能以及简便易行的设备维护，中微的MOCVD设备获得了客户的认可和信任。2016年，中微发布了其第二代MOCVD设备 Prismo A7®。在 Prismo D-BLUE的基础上，Prismo A7增加了一些新的特征，以进一步提升生产效率和加工性能。该设备已应用于国内众多领先的LED生产线。
中微具有自主知识产权的MOCVD设备Prismo HiT3®，是适用于高质量氮化铝和高铝组分材料生长的关键设备。在不到三年的时间里，中微已经在全球氮化镓基LED MOCVD设备市场占据领先地位。
作为中微公司自主研发的产出效率高且性能优秀的12英寸CVD金属钨设备，Preforma Uniflex™CW可灵活配置多达五个双反应台的反应腔，每个反应腔皆能同时加工两片晶圆，在保证较低的生产成本和化学品消耗的同时，实现较高的生产效率。Preforma Uniflex™CW配备了完全拥有自主知识产权的优化混气方案,自主设计优化的分气抽气系统和真空卡盘，具有优秀的薄膜均一性、填充能力和工艺调节灵活性，对于弯曲度较大的晶圆，它也具备良好的工艺处理能力。并且其优异的阶梯覆盖率和填充能力，可以满足先进逻辑器件、DRAM和3D NAND中接触孔以及金属钨线的填充应用需求。
凭借在使用了复杂化学物和气体的高端工艺设备领域的专业知识，中微在自主研发空气过滤产品方面具有独特的优势，该产品符合严格的空气质量标准。中微在国内率先开发制造了工业用大型VOC 净化设备。
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坚持绿色发展，进一步完善治理架构，明确绿色发展目标，加强绿色智能创新，运用先进厂务管理系统打造智能工厂，建设智能化仓库。我们注重节能降碳，启动屋顶光伏计划，使用清洁能源替代，建设绿色建筑，做好水土保持，持续推进上海生产基地开展节能节水新项目开展，并取得显著成效。积极贯彻落实绿色运营理念，做好生产和生活过程中产生的废气、废水、固体废弃物处理处置，尽可能减少公司生产运营对环境和社会的不利影响。
通过不断探索实践，积极应对气候变化，助力国家“双碳”目标实现。在南昌高科园区建设的约14 万平米的生产和研发基地已基本建成完工，部分生产洁净室于2022年7月投入试生产；在上海临港的约18万平方米的生产和研发基地主体建设已完成，2023年将部分投入使用；上海临港滴水湖畔约10万平方米的研发中心暨总部大楼也在顺利建设。
慎重选择零部件供应商并进行严格考核，与全球约300 家供应商建立了稳定合作关系，不断完善供应商管理体系，加强供应链环境和社会风险管理，协助供应商提升ESG 管理能力，积极采取相关措施提升供应链韧性，保持供应商多元化，凭借自主技术创新优势，加强本土产业链培育，持续为公司产品和服务水平的持续提升提供稳定保障。
中微公司致力于为全体员工创造安全、满意的工作环境，建立并不断健全多元的人才引进体系和职业发展体系。通过扁平的薪酬制度、有效的奖励机制和独特的全员持股的社会主义集体所有制，使员工把自己的近期利益和长远利益与公司的持续发展紧密结合起来。秉持“以人为本”的人才理念，尊重员工追求美好生活的原动力， 通过建立民主集中管理机制，多维绩效评价以及扁平的薪酬制度，最大化员工自身能量与积极性，形成合作共赢的发展局面。
2022年公司新组建了涵盖球类、有氧、文娱、艺术等四大类共计15个员工俱乐部，来自公司不同部门的18 位俱乐部会长及副会长组建了“会长之家”，累计组织了200 余次活动，将兴趣相投的中微人组织在一起，既愉悦了身心，又增进了团队凝聚力。
2022年10月，上海市集成电路第五期“大师讲堂”顺利举行。“大师讲堂”是上海培育积极活跃的集成电路生态圈的重要活动，每期讲堂均邀请海内外领军企业负责人、业内知名专家学者。中微公司董事长尹志尧先生在讲堂现场做了精彩的专题演讲，并参加了“上海集成电路紧缺人才（临港）产教基地”启动仪式，上海市集成电路行业协会等各主流媒体平台同步进行了线上直播。
2022年中微公司继续深化和中国科学技术大学（中科大）的合作，充分利用中科大的科研优势和中微公司的企业环境，共同建设“中微半导体集成电路英才班”。2022年向中科大捐助60万元人民币，通过校企合作，共同培养未来集成电路产业精英人才。
2022年12月，中微公司与上海交通大学（上海交大）教育发展基金会签订捐赠协议设立“中微- 未来基金”，并在2022年向该基金捐赠100万元人民币，用以支持上海交大博渊未来技术学院的初创和发展。同时，为推动校企合作，双方共同设立了社会实践基地，将为在校学生提供半导体行业前沿的技术指导和实践锻炼平台，促进理论知识到专业实践能力的转化。未来，双方将以产学研的合作模式在技术开发、人才培养等方面进一步探索科研教育与产业发展的结合。
以公益敬老为初心，中微公司自2020年起，与上海市老年基金会建立合作，作为社会力量积极加入上海老龄事业的发展。2022年，中微延续了上一年的公益慈善模式，为居住在浦东新区的特困老人家庭（主要为因病致贫老人）提供资金支持和生活上的帮助。在这一年中，共有41名公司志愿者参与进来，和基金会的工作人员一起在春节、中秋节分两次走访慰问了共计84位特困老人，定向帮扶特困老人家庭65 户，提供现金及慰问品共计84.56万元人民币。2022年底，中微与上海市老年基金会签订协议展开进一步的合作，已为2023年的项目预捐赠约165万元，并将于2023年起把帮扶对象扩大到整个上海地区，让更多的困难老人从中受益。
中微公司始终将质量管控工作摆在关键性位置，建立质量管控体系，打造质量管理系统，多措并举不断强化质量管控。做到设计、生产、出库，全流程、全方位的产品质量管控，为客户提供性能稳定、质量可靠的优质产品。为满足半导体行业严苛的质量要求，中微公司始终秉承“质量和持续改进根植于中微公司的每一个方面，及每个人每分钟的工作中”的质量方针，总结质量管理经验，建立了“三全食品、三重保险、三个满意”的质量管理模式，以“全方位、全过程、全员参与”（三全）为基础，将“三重保险”实践方法贯穿于产品开发、供应商管理、生产制造、客户服务等所有环节，最终实现客户和供应商满意、产业和市场满意、社会和国家满意的“三个满意”。
以上部分荣誉奖项，全文参考：
2018年年初，美方涉嫌侵犯中微公司专利权的设备。随着海关介入执法，美方主动与中微公司展开谈判，双方最终达成全球范围相互授权的和解协议。2018年年初，中微半导体公司获悉，美方涉嫌侵犯中微公司专利权的设备即将从上海浦东国际机场进口，随即向上海海关提出扣留侵权嫌疑货物的申请。上海海关及时启动知识产权海关保护程序，在进口环节开展行政执法，根据权利人申请，暂停涉嫌侵权设备的通关，这批设备货值达3400万元。 随着海关介入执法，美方开始正视中微公司的自主研发专利及其在中国的知识产权状况，主动与中微公司展开谈判，双方最终达成全球范围相互授权的和解协议。2023年，中微公司在针对美商泛林集团股份公司（Lam Research Corporation）提起的侵犯商业秘密案中赢得二审胜诉。
2021年1月14日（美国东部时间），中微公司被美国国防部列入中国共产党军事企业清单。经中微公司向美国国防部申诉后，同年6月3日（美国时间）中微公司成功地被移除此清单。2024年1月31日（美国东部时间），中微公司再次被美国国防部根据《2021财年国防授权法案》第1260H条列入中国军事企业清单（Chinese Military Companies List，以下简称“CMC清单”）。中微公司表示美国国防部将中微公司列入CMC清单的决定是错误的，不符合事实，没有法律依据，且违背了程序正当。中微公司也积极地同美国国防部进行沟通、澄清事实并提供了充分的证据证明其不符合CMC清单的认定标准，要求其将中微公司从CMC清单中移除，但未能如愿。8月16日，中微公司宣布，已向美国法院正式提交诉状，起诉美国国防部将其列入CMC清单的决定。