刘泽文，博士，教授，1960年12月20日出生于肥东县，1983年七月年毕业于中国科大物理系。1994年4月赴法国巴黎LURE实验室从事LIGA技术研究工作，1997年4月获法国巴黎南大学博士学位，现为中国电子学会高级会员，电子学会学术工作委员会委员，《微细加工技术》编委，北京碧华环境工程有限公司名誉顾问。

人物经历

刘泽文本科毕业于中国科学技术大学。1997年，他从巴黎第十一大学博士毕业后在中国工作。刘泽文曾任清华大学中国科学院微电子研究所微纳器件与系统研究室副主任，微电子学研究所副所长等职；现任北京清华大学集成电路学院教授、博士生导师。

成就及荣誉

1997－1999在清华大学从事博士后研究工作，进行MEMS技术研究；出站后留清华大学微电子学研究所从事教学和科研工作，曾任微电子所器件室副主任，微电子学研究所副所长等职务。他参与或负责多项重要科研项目，包括国家自然科学基金项目、973项目、985项目，直接负责的过项目总经费近千万元。曾在国内首次用X射线光刻方法获得高分辩率特征线条及厚胶微机械结构，所参与的同步辐射项目获科学院科技进步一等奖，所建立的厚胶溶解模型多次被国际学者引用。

1999年开始在国内率先开展RFMEMS研究工作，研制出多种形式高性能MEMS开关等器件。目前的研究兴趣是微电子和微系统工艺技术，RFMEMS，BioMEMS，纳米谐振器，集成传感器等。

现任中国电子学会高级会员，电子学会学术工作委员会委员；《微细加工技术》编委，多次为中国科学院主编的中国科技发展年度报告撰文；是《微系统设计》一书的中文译者。已经在国际国内学术刊物和重要会议上发表学术论文一百篇以上，其中SCI， EI引用的论文30多篇。拥有7项国家发明专利，一项欧洲专利

专攻项目

1. 纳米谐振器基础研究（自然科学基金项目）；

2. 面向生物医学的超灵敏生物检测系统优化研究（973项目）；

3. RFMEMS开关研究（上海市创新项目）；

4. 纳电子和微系统技术（中荷合作项目）。

参考资料

刘泽文.清华大学集成电路学院.2024-08-18