中国科学院微电子研究所(1958年在北京成立的科研机构)

中国科学院微电子研究所（以下简称“微电子所”）所属机构为中国科学院，位于北京市，成立于1958年，是中国微电子科学技术与集成电路领域的重要研发机构。 2022年，微电子所获省部级及社会力量奖项9项。微电子所在半导体器件与集成电路制造、集成电路设计与应用、集成电路装备等领域展开科研工作，具备从原理器件、集成工艺、制造装备到核心芯片开发的全链条、体系化科技创新与关键核心技术攻关能力。

中国科学院微电子研究所前身为原中国科学院109厂，成立于1958年。1970年8月，109厂共完成8台156计算机所需的混合单块集成电路3万余块及晶体管芯片4万余个。至此，中国从晶体管计算机时代进入单块集成电路计算机时代。1986年，109厂与中国科学院半导体研究所、中国科学院计算技术研究所有关研制大规模集成电路部分单位合并，成立中国科学院微电子中心。　1995年自主开发成功中国国内首个0.8微米成套工艺，“0.8微米集成电路制造技术”入选当年“中国国内电子科技十大新闻”。2003年9月，正式更名为中国科学院微电子研究所。2011年，微电子所研制成为中国国内第一个低温可充气真空辐射系统。2018年10月，被评为全国中小学生研学实践教育基地。

微电子所在半导体器件与集成电路制造、集成电路设计与应用、集成电路装备等领域展开科研工作，设有13个研发单元。微电子所2024年在职职工1千余人，其中包括中国科学院院士2人、高级专业技术人员480余人。微电子所是国务院学位委员会批准的博士、硕士学位授予权单位之一，是中国科学院大学集成电路学院主承办单位，现设有集成电路科学与工程、电子科学与技术、光学工程三个一级学科。共有在学研究生1600余人，在站博士后44人。截至2021年4月，微电子所设有1个博士后流动站，2个一级学科博士培养点，3个硕士培养点，1个工程硕士培养点。

历史沿革

1958年8月，为研制高技术专用109计算机，中国第一个半导体器件生产厂成立，命名为“109厂”，作为高技术半导体器件和集成电路研制生产中试厂，归属中国科学院应用物理所。厂址位于北京市东城区大取灯胡同3号。

1960年10月，109厂为研制109乙型计算机提供了12个品种、14.5万多只锗晶体管，完成了该机所需的器件生产任务。1961年11月，109厂厂址迁至北京市德胜门外祁家豁子2号楼。次年朝鲜科学院派人到109厂学习，有效地推进了本国相关产业的发展。

1963年中科院半导体研究所由王守觉先生领导的器件室研制成功硅平面型晶体管，109厂及时选派人员前往学习并迅速投入生产，为109丙机及其它高技术任务试制生产硅平面型器件。

1965年朝鲜科学院再次派人到109厂学习。8月，109厂与156工程处（后为771研究所）、半导体研究所合作，承担了156计算机的专用混合单片集成电路及晶体管芯片的试制生产。次年，109厂与上海光学仪器厂协作，研制成功中国第一台65型接触式光刻机，由上海无线电专用设备厂进行生产并向全国推广。109厂和上海无线电22厂合作，在国内首先研制成功超声波铝丝压焊机，由上海无线电22厂抽调人员建立上海超声波仪器厂，主要生产超声波压焊机，供应全国。

1969年，109厂与丹东精密仪器厂协作，研制成功全自动步进重复照相机，套刻精度达3微米，后由北京700厂批量生产，供应全国使用。次年，109厂研制开发成功系列抗饱和STTL—E高速数字逻辑中小规模集成电路，共16个品种、75万块，用于“远望”号远洋跟踪测量船中心控制151机。

1971年，109厂研制开发成功系列低功耗TTL—F数字逻辑集成电路，提供给地面站使用。1973年，109厂与北京建筑材料设计院、安徽蚌埠净化设备厂联合研制成功一套（共12种）洁净度达100级的局部空气净化台。该设备1974年投入使用。这是我国第一台用于半导体器件生产的专用净化设备。1975年，109厂与中科院计算技术研究所合作，研制生产中国第一台集成电路百万次计算机（1025机，后命名为013机）所用的主要集成电路。013机的研制成功，迫使西方国家放宽了向中国出口百万次计算机的限制。1979年，109厂自主设计研制成功4K位MOSDRAM，平均成品率达28％。　

1982年9月，“151电子计算机双抗复合系统”获国家科学技术委员会国家科学技术工作一等奖。10月，“KHA75-1型半自动接近接触式光刻机”获第一机械工业部科技工作一等奖。109厂设计研制成功64K位MOSDRAM。

1985年，109厂基本完成21000㎡超净化厂房扩建工程，成为当时国内面积最大、条件最好、技术最先进的半导体开发和生产厂房。3月，“大规模集成电路制造及测试设备”获机械工业部嘉奖。12月，经中科院决定，并报国家科委批复，109厂与半导体所、中国科学院计算技术研究所有关研制大规模集成电路部分合并，成立中国科学院微电子中心，总规模为1140人。　　

1986年，109厂与中国科学院半导体研究所、中国科学院计算技术研究所有关研制大规模集成电路部分单位合并，成立中国科学院微电子中心。

1991年，国务院学位委员会批准微电子中心“半导体器件与微电子学”专业的硕士学位授予权。使研究生教育培养工作进入独立招生阶段。次年10月，“大电流功率VDMOS场效应器件KWP50N05 KWH50N05”、 “触摸开关TC9135”分获1992年度国家级新产品证书。

1995年，该所自主开发成功国内首个0.8微米成套工艺，进行0.5微米基础工艺预研。“0.8微米集成电路制造技术”入选当年“国内电子科技十大新闻”。

2003年10月16日，经中科院研究决定并上报中央编制委员会批准，微电子中心更名为“中国科学院微电子研究所”。微电子所开发成功中国首款运算能力突破每秒10亿次乘累加大关的高性能、低功耗DSP芯片。次年9月9日，预算投资9686万元、建筑面积2.5万平方米、占地3587平方米的综合科研楼正式开工。综合科研楼于2006年8月14日竣工，2006年9月3日投入使用。该项目获得2004年度北京市建筑（结构）长城杯金质奖工程。2006年6月，微电子所进行战略转型和重大调整，重新进行学科布局，确定的战略方向与重点项目为：核心电子器件产品与技术、高端通用芯片产品与技术、面向产业的公共技术服务平台、集成电路核心技术、纳电子基础前沿研究等。

2007年12月21日，微电子所研制成功国内首款CMOS GPS套片“航芯”1号、2号、CMMB手持数字电视接收前端及解码芯片、具有完全自主知识产权的iptv的多媒体解码芯片、基于中芯国际集成电路制造有限公司12英寸生产线的IC设计支撑技术“片上抗静电（ESD）保护电路”。

2009年，该研究所EDA中心顺利为中科院中国科学院计算技术研究所完成了科技部国家高技术研究发展计划重大项目支持的“曙光5000A高效能计算机”互连交换ASIC芯片D5K Switch开发的1053引脚 FCBGA封装，该芯片顺利通过测试。由EDA中心的参与科技部863目标导向项目“无线传感网节点芯片”完成了节点设计和组网调试，已完成节点的全功能测试，各项功能和芯片功耗等性能指标均达到设计要求，并完成现场大规模组网调试。

2010年10月8日微电子所路甬祥院长主持召开中科院院长办公会，正式批准成立“中国科学院物联网研究发展中心”，纳入“中科院创新2020”建设规划，作为全院“战略高技术中心”之一给予重点支持，依托单位微电子所。

2012年，微电子所与天津市塘沽海洋高新区、秦皇岛市康泰医学、江阴长电、威海北洋电气等企业签订合作协议，以建立联合实验室、技术联合研发等方式促进地方科技建设，加强与产业界的合作，已签订合作协议15个，横向经费近6000万元。2012年，科技部批准微电子所为第四批国家技术转移示范机构。

2013年，微电子所再次承办国际学术竞赛并获得组委会一致好评，获邀继续承办2014年竞赛。建立佛山分中心、南京分中心，推动地方产业发展。经过十年建设，EDA中心经历了从中科院资源共享平台—共性技术服务—共性技术创新三个阶段和层次的发展历程，已经提升为国家级行业共性技术服务创新平台。

2014年起，中国科学院微电子研究所将每年举办一次“中国科学院微电子研究所科技开放日”活动，面向全产业链企业和院校开放。

2016年，中科院微电子所集成电路先导工艺研发中心（以下简称“先导中心”）团队提出并设计了一种“三明治”结构的垂直场效应管(vertical sandwich GAA-FETs，简称VSAFETs，下同)，

2019年，微电子所发表了首个具有自对准栅极的VSAFET*；2020年，报道了锗硅准原子层刻蚀法(qALE，下同)的研究成果，具有各向同性、对硅选择性等特点。原子层刻蚀法是一种以过氧化氢(H202)和缓冲氧化物刻蚀剂(BOEs)分别作为氧化剂和氧化物去除剂的湿法化学刻蚀工艺。SiGe的qALE具有操作简单、成本低的优点，适用于集成电路制造。同年12月，入选“第三批双创示范基地”。

2022年微电子所邀请20余名外国专家在线进行技术交流，所内职工70余人在线参加各类国际会议。作为中科院曼谷创新合作中心理事单位，积极参与中泰东盟创新港展示项目，助推研究所先进适用技术及成果落地泰国。成功组织了第六届国际先进光刻技术研讨会（IWAPS）和第23届封装技术国际会议。

科研条件

人员规模

截至2022年底，微电子所共有在职职工1054人。其中科技人员626人、科技支撑人员256人，包括中国科学院院士2人、发展中国家科学院院士1人、国际欧亚科学院院士2人、研究员及正高级工程技术人员159人、副研究员及高级工程技术人员355人。共有在学研究生1688名，其中微电子所1115名，集成电路学院453名，联合培养研究生120名。

科研资源

微电子所拥有可以提供科研资源的图书馆以及众多网络数据库包括：大英百科全书数据库、wiley电子图书数据库-CSDL订购为全院开通、中国科学院学位论文数据库、PNAS、Wiley-Blackwell、ACS(American Chemical Society)、Science、Elsevier-SD、IEEE中文网站、（IEL）IEEE/IEE Electronic library、（AIP）AIP Journals、（APS）APS Journals、(ACM) ACM Digital Library、(IOP) IoP Electronic Journals、(Nature回溯) Nature回溯数据库、(Nature)Nature+NSJ、Science Online、(Elsevier)Elsevier ScienceDirect、(Ei) Ei Engineering Village 2、CNKI科技类博硕士学位论文数据库。

科研设备

为了加强技术支撑系统建设，中国科学院微电子研究所在2009年筹建并成立了了中国科学院微电子所公共技术服务中心。据2024年研究所官网显示，该研究所共开放各类大型设备共计184台，价值共计59064026.58元。

科研部门

中国科学院微电子研究所拥有2个基础研究类中国科学院重点实验室（微电子器件与集成技术重点实验室、硅器件技术重点实验室），6个行业服务类研发中心（中国科学院EDA中心、集成电路先导技术研发中心、系统封装与集成研发中心、中科新芯三维存储器研发中心、电磁信息智能应用研究中心、光刻技术总体部），6个行业应用类研发中心（通信与信息工程研发中心、新能源汽车电子研发中心、健康电子研发中心、智能感知研发中心、智能制造电子研发中心、智能电子系统研发中心），4个核心产品类研发中心（硅器件与集成研发中心、高频高压器件与集成研发中心、微电子仪器设备研发中心、光电技术研发中心）。

合作交流

对外投资及管理

中国科学院微电子研究所与行业重点企业和龙头企业合作，通过建立联合研发平台、技术入股等方式形成了多个技术转移平台；与地方政府合作，建立了多个地方技术转移平台；与多家金融机构建立战略合作共同发起了数支产业投资基金。对外投资及管理的主要工作：主要负责研究所（资产公司）对外投资及参控股企业管理，探索符合市场规律的重点企业资源/业务整合。

知识产权运营

为了面向全产业进行服务，更好地推动产业的知识产权工作，微电子所联合合作股东中科院物联网研究发展中心和华进半导体封装先导技术研发中心有限公司共同发起设立北京中科微知识产权服务有限公司，打造独立的、市场化的专业运营服务机构。北京中科微知识产权服务有限公司作为三方股东从事集成电路、智能传感、物联网等领域内的知识产权交易、收储、运营、投资及服务，实现专利运营与技术研发。

基金工作

基金工作主要是结合研究所实际和产业发展态势，探索创新链、产业链和金融链结合的产业化发展模式，带动产业资源、资本和市场资源等与科研的结合，盘活微电子所科研成果，进一步推动成果转移转化，产业化中心代表微电子所主导和参与了多支私募股权投资基金的运营。基金投资理念以支持科研项目产业化和早期企业快速发展为主，投资标的主要为天使轮或A轮阶段的集成电路、物联网、智能传感器领域优质企业。

科研成就

科研成果

2008年-2022年，微电子所共有在研项目5461项，项目类型包括国家重点基础研究发展计划（973）项目（或课题），国家科技重大专项课题、中国高技术研究发展计划（863）项目（或课题）；国家自然科学基金重点项目，“杰出青年基金”项目，中国科学院知识创新工程重要方向项目，国际合作项目，地方政府合作项目等等。

2008年-2022年共发表论文4814篇，其中SCI论文2252篇，EI论文1036篇。申请专利7765项，授权专利4420项，登记软件著作权88项，集成电路设计布图53项，注册商标5项，出版专/译著49部。专利转让333项，合同金额2亿元。

参考资料

2022年6月消息，中国科学院微电子研究所刘明院士团队和复旦大学教授刘琦团队共同研发了一种结构紧凑的多模态融合感知脉冲神经元(MFSN)阵列，并将其与脉冲神经网络(SNN)结合，构建了一种人工多模态感知系统。该成果使构建高效的多模态脉冲感知系统成为可能，为发展高智能机器人技术提供了新思路，并发表在国际材料领域期刊《先进材料》(Advanced Materials)上。

电子期刊

《芯天地》是一本创刊于2007年中国科学院微电子研究所主办的电子期刊，主要刊载在该所官网，内容主要是中国科学院微电子研究所工作简况，包括该所近期科研进展、发表论文、研究成果等。

人才培养

学科建设

微电子所是中国国务院学位委员会批准的博士学位（1996年5月获批）、硕士学位（1990年11月获批）授予权单位之一，现设有集成电路科学与工程、电子科学与技术、光学工程三个一级学科，及“电子信息”专业学位类别学位授权点。其中电子科学与技术下设“微电子学与固体电子学”（2011年获批中国科学院重点学科）、“电路与系统”两个二级学科；设有硕士、博士研究生培养点和“电子科学与技术”一级学科博士后流动站。

教学建设

　微电子所共有学术型硕士招生专业4个：微电子学与固体电子学（080903）、电路与系统（080902）、光学工程（080300）、集成电路科学与工程（140100）；专业学位硕士招生领域3个：新一代电子信息技术（085401）、集成电路工程（085403）、光电信息工程（085408）。2023年录取硕士研究生136人，微电子研究所2024年春季录取博士研究生56人，

文化传统

所标

标识以菱形为主体，充分体现出中心团队的严谨与理性，同时相叠的菱形代表了微电子产品，向右形成的两个充满力量的箭头，表明了中心在微电子领域中勇于探索、不断钻研与开拓的精神。箭头向细变化，表现了产品向着更细、更精发展的物理特点。标志中心快速运动的线条，是微电子技术飞速发展的写照，表现出中心要在不断发展中开拓创新的精神。

所训

惟精惟一

求实求新

行政管理

历任领导

现任领导

时间2024年1月

所长、党委书记：戴博伟

党委副书记、纪委书记：谢光锋

副所长：曹立强副所长：李

副所长：罗军

参考资料

荣誉获奖

1958年~1986年

在此阶段，微电子所（中国科学院109厂阶段）共获得各级荣誉奖项：包括国家计委科技攻关成绩显著表彰、中国科学院“六五”科技攻关重要贡献、全国科学大会供八项表彰；中国科学院重大科技成果奖、国家科技技术进步奖和机械工业部授予的各类奖项共9项。

1989年~2001年

在此阶段，微电子所（微电子中心阶段）共获得各类荣誉奖项：包括科学技术部“九五”攻关优秀成果奖、电子工业部国家“八五”科技攻关重大成果奖、电子部93年电子十大科技成果奖等各类奖项共7项。1997年因为“触摸开关集成电路KW9135P”获得国家科委科技成果证书。1989年，因为1-1.5微米成套工艺开发及相应水平大规模集成电路的研究，获得国家计委“七五”国家重点科技攻关专题优异成绩表彰。